[发明专利]一种太赫兹调制器及制备方法在审
| 申请号： | 202011402708.1 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112612147A | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 毛淇;吕赐兴;刘竞博;朱云龙 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | G02F1/015 | 分类号： | G02F1/015;G02F1/01 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超;罗尹清 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种太赫兹调制器及制备方法，所述太赫兹调制器包括砷化镓基片和石墨烯薄膜；所述砷化镓基片的一面刻蚀有类金字塔结构的突起；所述石墨烯薄膜覆盖在砷化镓基片具有类金字塔结构的突起的一面上。所述太赫兹调制器通过把高电阻率的砷化镓基片刻蚀为金字塔结构，并在基片表面制备一层石墨烯薄膜，这样在激光的作用下可以提高载流子的迁移率，达到对太赫兹波的快速调制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 赫兹 调制器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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