[发明专利]一种蒸镀设备

摘要

本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀设备，包括蒸镀腔本体和换料腔本体，换料腔本体位于蒸镀腔本体的一侧，蒸镀腔本体内腔设有机械手臂机构和三个以上的坩埚位，三个以上的坩埚备用位环绕坩埚蒸镀位设置，三个以上的坩埚备用位分别位于同一个虚拟圆的等分点上，坩埚蒸镀位位于虚拟圆的圆心位置上，在换料腔本体内腔设置旋转轨道，旋转轨道上设有两个以上的坩埚接待位，可在生产作业时同时进行换料或加料的动作，这样不仅对蒸镀腔本体内洁净度起到很好的保持作用，避免空气中的颗粒污染腔体，对产品良率有一定保障；而且还可以大大避免停机开腔换料等作业对产能造成的影响。