[发明专利]一种微电子行业废磷酸资源化利用方法有效
申请号: | 202011408374.9 | 申请日: | 2020-12-04 |
公开(公告)号: | CN112574069B | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 李洋;卢正杰;程龙 | 申请(专利权)人: | 上海天汉环境资源有限公司 |
主分类号: | C07C273/02 | 分类号: | C07C273/02;C07C273/16;C07C275/02 |
代理公司: | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人: | 冯振华 |
地址: | 201306 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种微电子行业废磷酸资源化利用方法,涉及液晶面板、半导体晶圆、集成电路企业电子级废磷酸资源化制备工业级磷酸脲的方法。包含以下步骤:(1)废磷酸与尿素升温反应合成;(2)磷酸脲配置液静态吸附通过活性炭、阳离子交换树脂、阴离子交换树脂;(3)去离子磷酸脲溶液负压蒸发浓缩冷却结晶分离;(4)一次结晶加水升温重溶再冷却重结晶;(5)低温热风干燥重结晶晶体。本发明与现有电子级废磷酸降级使用相比,能够得到高纯度磷酸脲产品,具有较高的工业价值,具有广阔的市场应用前景。本发明全处理过程操作简单、投入试剂廉价、副产废物满足一般生化废水站要求,是电子级废磷酸资源化利用的最优选择。 | ||
搜索关键词: | 一种 微电子 行业 磷酸 资源 利用 方法 | ||
【主权项】:
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