[发明专利]一种阵列基板及其制备方法

摘要

本申请提供一种阵列基板及其制备方法，所述阵列基板包括基板；开关薄膜晶体管，阵列的设置于所述基板上；感光薄膜晶体管，设置于所述基板上；所述开关薄膜晶体管与所述感光薄膜晶体管同层且间隔设置；其中，所述开关薄膜晶体管包括位于所述基板上的第一半导体层和遮光层；所述感光薄膜晶体管包括位于基板上的第二半导体层。本申请通过采用同一道光罩制程制备所述遮光层、所述第一半导体层以及所述第二半导体层，减少了阵列基板的制作流程，降低使用现有技术的生产成本以及提高产能效益；同时，保留所述第一半导体层上方的遮光层，在保证了所述开关薄膜晶体管特性的同时，避免了光照对所述开关薄膜晶体管特性的影响。