[发明专利]一种热场温控方法有效
| 申请号： | 202011408624.9 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112512146B | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 林佳继;庞爱锁;郭永胜;刘群;朱太荣;林依婷 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/64 | 分类号： | H05B3/64;H05B1/00 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本本发明公开了一种热场温控方法,包括炉丝，所述炉丝由炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝构成，所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝以及炉尾辅热区炉丝在轴向分别由多组温区炉丝构成，至少一组温区炉丝至少两组分区构成，各分区的炉丝非均等分布，控制炉丝非均等分布包括各分区的炉丝疏密或/和各分区的炉丝丝径或/和各分区的炉丝数量，非均等分布的炉丝控制各分区的功率，功率控制各分区所在区域的温度，本发明将至少一组温区炉丝细分成至少2个分区，每分区对炉丝疏密进行相应的布局，且炉丝疏密通过各分区相邻炉丝间距Pj1或/和各分区炉丝节距Pj2进行布局，而实现硅片组温度的均匀控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温控 方法 | ||
【主权项】：
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