[发明专利]一种全无机量子点基阻变存储器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202011409082.7 申请日: 2020-12-04
公开(公告)号: CN112510147B 公开(公告)日: 2022-05-20
发明(设计)人: 周静;王志青;陈文;沈杰;赵利军;侯大军 申请(专利权)人: 武汉理工大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 彭月
地址: 430070 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种全无机量子点基阻变存储器及制备方法,涉及半导体领域,包括自下而上依次设置的基板、底电极、阻变层和顶电极,其中,所述底电极与阻变层之间还设置有缓冲层。本发明通过增加铁电材料缓冲层,使阻变存储器的工作电压降低至0.3V以下,存储窗口提高到107量级以上;器件在持续工作1.4×106s后阻变性能退化小于0.01%,并且在104次快速读取测试中显示出良好的耐久性。所述设计大大提升了量子点阻变存储器的阻变性能,加速了量子点基阻变存储器的商业化进程。
搜索关键词: 一种 无机 量子 点基阻变 存储器 及其 制备 方法
【主权项】:
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