[发明专利]一种基于石英管分层的热炉降温结构

摘要

本发明公开了一种基于石英管分层的热炉降温结构，包括石英管，所述石英管包括石英管内腔以及石英管外管，石英管外管为分层结构，所述石英管外管包括石英管外层和石英管内层，石英管外层和石英管内层间形成石英管夹层，冷却介质在石英管夹层的流通降低硅片的温度，本发明将硅片热量辐射传导石英管夹层并通过压缩空气传到炉体，相比于自然冷却方式，冷却速度提升5‑10倍，提高冷却速度，本发明将石英管设计为分层结构，导入管、石英管夹层以及导出管形成冷却通道，避免压缩空气对炉膛和电炉丝直吹，提高了使用寿命。