[发明专利]一种光电行业废磷酸蚀刻液资源化回收利用的工艺在审

专利信息
申请号: 202011409436.8 申请日: 2020-12-04
公开(公告)号: CN112520717A 公开(公告)日: 2021-03-19
发明(设计)人: 林辉荣;左姣;倾彩霞;何睿鸣;陈国平 申请(专利权)人: 新中天环保股份有限公司
主分类号: C01B25/234 分类号: C01B25/234;C01B25/237;C01B25/238;C23F1/46
代理公司: 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 代理人: 郑雪红
地址: 401120 *** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明属于资源回收处理技术领域,具体涉及一种光电行业废磷酸蚀刻液资源化回收利用的工艺,包括以下步骤:(1)除金属离子;(2)浓缩除酸:将滤液预热到80‑85℃,将滤液加入蒸发器内,将滤液中的醋酸和硝酸除去;将滤液中的磷酸浓缩至85.5‑86.5的浓度,得到磷酸液;(3)连续结晶与分离:对磷酸液进行降温,将降温后的磷酸溶液加入到产品塔内,在添加磷酸溶液时加入晶种,晶种与磷酸溶液在混合段充分混合,然后进入产品塔的结晶段充分结晶;在晶体下降过程中使塔底的磷酸溶液充分与晶体接触,最终优质的磷酸晶体进入塔底。通过本工艺路线,将光电行业刻蚀工段产生的不同浓度范围的废磷酸制备得到高品质的85%磷酸,有效实现资源的回收利用。
搜索关键词: 一种 光电 行业 磷酸 蚀刻 资源 回收 利用 工艺
【主权项】:
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