[发明专利]一种应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液及其制备方法在审
| 申请号： | 202011410024.6 | 申请日： | 2020-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN112415869A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 李自杰;王磊;高尚;李锦琪 | 申请（专利权）人： | 无锡高琪微电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京康达联禾知识产权代理事务所(普通合伙) 11461 | 代理人： | 郭普堂 |
| 地址： | 214400 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了本发明涉及一种应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液及其制备方法，其组分按重量百分比计，包括：1‑15wt％胺，5‑80wt％醚，10‑50wt％超纯水，0.01‑5wt％添加剂A，0.01‑5wt％添加剂B，0.01‑5wt％添加剂C。该兼容、环保型水系剥离液的制备方法为：将添加剂A和添加剂B先用超纯水混合均匀，再加入添加剂C，待溶液澄清后，再加入到混配罐中，最后添加胺，搅拌后制成母液，再加入溶剂醚或回收液，最后混合均匀制成成品药液。本发明剥离液剥离能力强，能有效的去除光致抗蚀剂残留物，可用于不同金属膜层的工艺，不腐蚀下层金属配线，剥离液使用寿命长，并且对人体和环境无害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 多种 金属 兼容 环保 水系 光刻 剥离 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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