[发明专利]迭代式缺陷滤除工艺在审
| 申请号： | 202011411895.X | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112465791A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | S·沙布岱;I·凯泽曼;A·瓦奇斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司;应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/62;G06K9/68 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于将晶片的缺陷分类的方法可通过以下步骤由计算机化系统执行：获取关于缺陷候选者群组的缺陷候选者信息，其中缺陷候选者信息包含群组的每一缺陷候选者的属性的值；由计算机化系统的处理器选择所选缺陷候选者子群组，此系响应于至少属于所选子群组的缺陷候选者的属性的值；将所选子群组的缺陷候选者分类，以提供所选子群组分类结果；重复下列步骤，直到满足停止条件为止：响应于以下而选择额外的所选缺陷候选者子群组：(a)至少属于额外的所选子群组的缺陷候选者的属性的值；以及(b)由将至少一个其他所选子群组分类而获取的分类结果；以及将额外的所选子群组的缺陷候选者分类，以提供额外的所选子群组分类结果。 | ||
| 搜索关键词： | 迭代式 缺陷 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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