[发明专利]基于AI与云计算技术的半导体基板光刻胶层缺陷检测系统有效
| 申请号： | 202011413101.3 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112561866B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王成;罗林;郑静 | 申请（专利权）人： | 重庆忽米网络科技有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K17/00;G07C3/14;G06Q10/06;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 张先芸 |
| 地址： | 400041 重庆市高新*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了基于AI与云计算技术的半导体基板光刻胶层缺陷检测系统，其中，控制器控制待测产品到达状态码获取工位，产品信息获取模块获取待测产品的产品状态码；匹配模块基于产品状态码判断产品是否具有对应的检测模型，若有，控制器控制待测产品到达图像采集工位，图像采集装置获取待测图像；检测模块调用对应的检测模型对待测图像进行检测，若检测合格则将待测产品标记为合格或不合格；控制器控制待测产品向后续工位移动，数据库存储检测记录。本发明采用AI与云计算技术，能够实现对光刻胶层缺陷的自动检测，解决基板光刻胶层表面缺陷人工检测效率低、准确性差、时效性差等问题，达到代替人工快速检验，提高效率，降低陈本，提升准确性等目的。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 ai 计算 技术 半导体 光刻 缺陷 检测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆忽米网络科技有限公司，未经重庆忽米网络科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011413101.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种智慧停车系统用车位数量显示装置
- 下一篇：一种柑橘分瓣旋转机构
