[发明专利]一种晶圆检测装置及线上成套设备有效
| 申请号： | 202011413410.0 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN112198169B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 李海鹏 | 申请（专利权）人： | 紫创（南京）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/88;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种晶圆检测装置及线上成套设备，涉及半导体制造技术领域，包括光源模组以及沿光源模组的光路传输方向设置的旋转模组、光信号分拣模组和检测模组，旋转模组以光源模组的主光轴为中心旋转；光源模组出射的基波光束经旋转模组以同一入射角下的不同方位角扫描入射位于加工装置内的待测晶圆，由待测晶圆反射的基波光束经旋转模组后入射光信号分拣模组，光信号分拣模组分拣出的非线性光信号输入检测模组，检测模组根据非线性光信号检测待测晶圆的缺陷。旋转模组改变了基波光束的入射方向和入射平面，一个旋转周期内，减小或消除方位角误差，抵消非线性光信号的各向异性的影响，提高检测准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 线上 成套设备 | ||
【主权项】：
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