[发明专利]湿度传感器在审
| 申请号： | 202011414225.3 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112946032A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 宫武真美 | 申请（专利权）人： | 美蓓亚三美株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;G01K7/16 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种提高了保护膜与感湿膜的密合性的湿度传感器。本湿度传感器具有隔着绝缘膜而形成于半导体基板上的配线层、覆盖上述配线层的保护膜、以及形成于上述保护膜上的感湿膜，在上述保护膜与上述感湿膜之间形成有金属氧化膜。 | ||
| 搜索关键词： | 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美蓓亚三美株式会社，未经美蓓亚三美株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011414225.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
