[发明专利]太阳电池及其制备方法、太阳电池背面多层复合钝化膜

摘要

本申请涉及太阳电池领域，具体而言，涉及一种太阳电池及其制备方法、太阳电池背面多层复合钝化膜。背面复合钝化膜设置于硅衬底背面；所述背面复合钝化膜包括沿所述硅衬底背面依次向外设置的第一氧化硅膜、钝化层、第一钝化膜、反射膜、第二钝化膜以及第二氧化硅膜；反射膜为折射率为1.45～1.7的氧化硅膜；或者，所述反射膜为折射率为1.7～1.9的氮氧化硅膜。本申请提供的太阳电池可以降低正面入射可见光的反射率，背面多层复合膜可以提高可见光穿透硅基体后的反射率，形成二次反射，可以显著改善“氢钝化”效果和“场效应钝化”效果，降低PID衰减，提高电池可靠性。