[发明专利]一种高低速兼容直线位移增量精密测量方法有效
| 申请号： | 202011414880.9 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN112595238B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 王德麾;姜世平 | 申请（专利权）人： | 四川云盾光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 贾年龙 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高低速兼容直线位移增量精密测量方法。本发明相较传统光栅，显著降低其制造工艺复杂度、加工时间和成本；本发明相较传统光栅，工况速度区间更宽，即能够正常工作于更高/更低速的工况条件下；本发明将传统的细密光栅，转为宏观的大间隔光栅条纹，有效降低装调复杂度，提升良品率；本发明提供一定的绝对定位能力(绝对定位，即能直接获得当前位置距离零点位的距离)；本发明定位图案特别适合非透明介质，如各种金属材料，耐冲击和振动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低速 兼容 直线 位移 增量 精密 测量方法 | ||
【主权项】：
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