[发明专利]一种液体静压导轨综合性能的动态测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种液体静压导轨综合性能的动态测量装置及方法，该装置包括设于工作台上的加载单元及测量单元，加载单元可对液体静压导轨进行加载，模拟其实际工作过程中的加工状态；测量单元包括用于对液体静压导轨的位移变化量进行检测的位移测量组件以及两个光栅尺，其中一个光栅尺用于反馈和控制液体静压导轨的位置，另一个光栅尺用于测量液体静压导轨的位置和速度。该方法基于装置实施，可对动态液体静压导轨进行定位精度、运动平稳性、水平及垂直方向的运动直线度和对应方向静刚度的动态测量。本发明不仅方便对液体静压导轨进行拆装更换，普适性较强，而且能够统一进行相应指标的动态测量，既可缩短测量周期，又能提高测量结果的参考价值。