[发明专利]一种微机电系统、垂直腔面发射激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011419838.6 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN112537752A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 吕家纲;李伟;刘素平;马骁宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;H01S5/10;H01S5/183 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王文思 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种用于垂直腔面发射激光器的微机电系统，包括：注入电极，其设于欧姆接触层表面的一端；牺牲层，其设于欧姆接触层表面的另一端，以与注入电极相对；上反射镜层，其设于牺牲层的表面，其中，上反射镜层形成有均匀扇叶悬臂结构，均匀扇叶悬臂结构包括一圆形反射镜和多个扇叶悬臂；其中，多个扇叶悬臂之间通过空气间隔，均匀扇叶悬臂结构下方的牺牲层通过腐蚀去除以使均匀扇叶悬臂结构悬空；调谐电极，其设于上反射镜层的表面。本公开还提供了一种垂直腔面发射激光器及其制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 系统 垂直 发射 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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