[发明专利]一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法有效
| 申请号： | 202011420118.1 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112680700B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 郑军;潘发青;刘兴光;王启民;杨阳 | 申请（专利权）人： | 安徽工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54;C23C14/06 |
| 代理公司： | 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153 | 代理人： | 王瑞 |
| 地址： | 243032 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法，包括镀膜腔室、PVD靶材、样品台、待镀膜工件和电子束辅助沉积组件，所述待镀膜工件设置在所述样品台上，所述PVD靶材、所述样品台均设置于所述镀膜腔室内，所述PVD靶材和所述待镀膜工件对应设置，所述电子束辅助沉积组件提供的可控电子束设置在所述PVD靶材和所述待镀膜工件之间；本发明在镀膜工件表面附近添加一个辅助电子束源，用于控制镀膜样件表面的电子浓度和离子浓度，从而有效的抑制或控制不导电的碳基薄膜表面的电荷积累，获得微观结构与成分可控、性能显著提升的碳基超润滑固体薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 辅助 碳基超 润滑 固体 薄膜 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
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