[发明专利]用于光刻系统的螺旋式紫外光源装置在审
| 申请号： | 202011424542.3 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN113126445A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 王楚恒;谢宏兴 | 申请（专利权）人： | 正扬科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 李怀周 |
| 地址： | 中国香港湾仔道185*** | 国省代码： | 香港;81 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于光刻系统的螺旋式紫外光源装置，其包含壳体、紫外光源及反射镜组。壳体具有起始点及出口。紫外光源设置于起始点，并产生紫外光。反射镜组设置于壳体内，并包含多个反射镜，所述多个反射镜沿螺旋路径设置，使所述多个反射镜分布于螺旋路径。其中，所述多个反射镜的中心及紫外光源的中心实质上位于同一平面，且所述多个反射镜相继反射紫外光，使紫外光沿螺旋路径传送，并由出口离开壳体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 系统 螺旋式 紫外 光源 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于正扬科技有限公司，未经正扬科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011424542.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
