[发明专利]一种大尺寸氮化镓单晶生长设备及大尺寸体块氮化镓单晶的生长方法在审
| 申请号： | 202011424545.7 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112553692A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 王国栋;俞瑞仙;张雷;刘磊;王泰林;刘光霞;陈成敏 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B25/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 张宏松 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大尺寸氮化镓单晶生长设备及大尺寸体块氮化镓单晶的生长方法，包括生长设备炉体，生长设备炉体包括作为炉膛部分的石英管，所述石英管一端设置有进气法兰，石英管的另一端设置有出气法兰，石英管上设置有至少一段电阻加热恒温区，所述电阻加热恒温区与出气法兰之间的石英管上设置有感应加热结晶区，所述感应加热结晶区包括石英管外围的电磁感应线圈以及设置在石英管内壁与电磁感应线圈配合产生热量的感应材料层。本发明的大尺寸氮化镓单晶生长设备创造性地增加了感应加热结晶区，此区域由感应线圈和温场感应材料构成，构建出适合氮化镓单晶生长的温场，提高氮化镓晶体的生长速率及质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 氮化 镓单晶 生长 设备 方法 | ||
【主权项】：
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