[发明专利]基于衬底集成波导重入式谐振腔和微流控技术的微波差分传感器

摘要

一种基于衬底集成波导双重入式谐振腔和微流控技术的微波差分传感器,包含两个谐振腔体和微流控芯片；两腔体均由叠合的上层盖板和下层底板构成。上层盖板和下层底板的中间介质层均包含数个金属通孔，连接顶层与底层金属层，第二层板的底层金属和第三层板的顶层金属蚀刻具有渐变外形的馈电线。每个腔体的内部有环形凹槽，中间形成电容柱，对应芯片微流道。两腔体分别作为传感和参考谐振腔。该传感器将两个重入式谐振器巧妙纵向结合，利用谐振腔间天然存在的金属壁以及特殊的激励方式，再结合谐振腔电场高度集中及微流控芯片可精准控制微量流体的优点，形成一个结构紧凑、不受温度湿度等因素干扰、元器件相互独立、可用于液体介电表征的微波差分传感器。