[发明专利]一种多环境真空摩擦磨损试验系统在审
| 申请号： | 202011425586.8 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112730126A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 周晖;胡汉军;张凯锋;郝宏;霍丽霞;苟世宁;郑玉刚;刘兴光;冯兴国;万志华;胡继星;吴金龙 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N3/56 | 分类号： | G01N3/56;G01N17/00;G01N23/2273 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 刘西云;李微微 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多环境真空摩擦磨损试验系统，样品传送腔的真空度位于摩擦试验腔与XPS分析测试腔之间，样品到达样品传送腔后，重新抽取样品传送腔的真空度，直到与XPS分析测试腔的真空度的差值小于设定值，从而大大降低了样品传送腔对具有超高真空度的XPS分析测试腔的真空度的影响，可以实现材料样品在不同真空度腔体里的转移，确保材料样品在摩擦试验、环境试验、传样阶段和XPS分析的全过程中始终处于与外界大气隔离的环境中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环境 真空 摩擦 磨损 试验 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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