[发明专利]一种晶圆薄片切割质量检测设备

摘要

本发明涉及检测设备的技术领域，特别是涉及一种晶圆薄片切割质量检测设备，其通过对晶圆进行检测，可有效避免人工检测时对晶圆不同位置进行多次测量的方式，简化检测方式，提高工作效率，同时设备自动检测，设备的稳定性较高，有效提高晶圆检测精度，提高检测质量，提高实用性和可靠性；包括两组立板、两组第一转轴、四组链轮、两组传动链和两组环形导轨，两组立板的外部左下侧和右下侧均设置有支腿，两组第一转轴均纵向位于两组立板之间，两组第一转轴分别转动安装在两组立板的左侧和额右侧，四组链轮分别安装在两组第一转轴的前侧和后侧，两组传动链分别敷设前侧两组链轮和后侧两组链轮上。