[发明专利]一种具有自温度补偿功能光栅及其制备方法在审
申请号: | 202011431410.3 | 申请日: | 2020-12-07 |
公开(公告)号: | CN112578493A | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 祝连庆;何巍;袁宏伟;张雯;董明利;李红;何彦霖 | 申请(专利权)人: | 北京信息科技大学 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18 |
代理公司: | 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 | 代理人: | 王琦;庞立岩 |
地址: | 100085 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种具有自温度补偿功能光栅及其制备方法,通过紫外曝光和飞秒刻写在光线基底材料分别刻写变栅距光栅和等栅距光栅,光栅刻写完成后镀金膜制备成具有自温度补偿功能光栅,该方法制备的光栅可以有效的抵抗因环境温度变化带来的干扰,弥补光栅缺少温度补偿的缺陷。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 温度 补偿 功能 光栅 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京信息科技大学,未经北京信息科技大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202011431410.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。