[发明专利]一种飞秒激光直写FBG的金属镀膜气压测试方法在审

专利信息
申请号: 202011431475.8 申请日: 2020-12-07
公开(公告)号: CN113029426A 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 张雯;祝连庆;何巍;董明利;李红;庄炜;何彦霖 申请(专利权)人: 北京信息科技大学
主分类号: G01L11/02 分类号: G01L11/02;G02B6/02
代理公司: 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 代理人: 王琦;庞立岩
地址: 100085 北京市海淀区清*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种飞秒激光直写光纤布拉格光栅(Fiber Bragg Grating,FBG)的金属镀膜气压探针。该传感器首先使用飞秒激光直写技术进行FBG制备,将带涂覆层的光纤置于三维移动平台上,保证视野清晰,将飞秒激光光斑聚焦至纤芯,采用直写方式在纤芯区域制备FBG。其次使用光纤精密切割装置将光纤光栅切断,并在其端面进行金属镀膜,制成光纤气压探针。采用本发明提供的技术方案制作的飞秒激光直写FBG的金属镀膜气压探针为全光纤结构,可避免电磁干扰,耐高温,结构及制作工艺简单,可靠性好、灵敏度高。
搜索关键词: 一种 激光 fbg 金属 镀膜 气压 测试 方法
【主权项】:
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