[发明专利]一种旋转靶材的退绑修复方法在审
| 申请号： | 202011432887.3 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112725744A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 房健威;余芳;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;B23K1/00;B23K1/018 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种旋转靶材的退绑修复方法，包括：已绑定的旋转靶材上包含若干退绑圆筒和若干非退绑圆筒，将旋转靶材竖直设置在旋转平台上，使退绑圆筒与背衬管加热至60～120℃，再使退绑圆筒与背衬管加热至170～200℃后铟就会融化，待铟完全融化并流出后，使用夹具将退绑圆筒从背衬管中取出即可完成退绑，将退绑圆筒进行金属化处理后，套设在背衬管上的原解绑位置，使退绑圆筒与背衬管加热至90～150℃，再使退绑圆筒与背衬管加热至180～230℃后，向退绑圆筒与背衬管之间的焊缝空间中注入铟液，待铟液填满焊缝空间后降温即可完成修复，本发明不仅能实现圆筒的退绑，还能重新绑定圆筒实现靶材的修复，解决现有技术不能有效实现对靶材进行重新绑定的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 修复 方法 | ||
【主权项】：
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