[发明专利]一种柔性太赫兹调制器及其制备和调节方法有效
| 申请号： | 202011434901.3 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112510377B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 佘荣斌;鲁远甫;李光元;杨春雷;祝永乐 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | H01Q15/00 | 分类号： | H01Q15/00 |
| 代理公司： | 深圳智趣知识产权代理事务所(普通合伙) 44486 | 代理人： | 王策 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种柔性太赫兹调制器及其制备和调节方法，包括铟镓锌氧化物膜层；第一金属氧化物膜层和第二金属氧化物膜层，铟镓锌氧化物膜层位于第一金属氧化物膜层和第二金属氧化物膜层之间以形成层叠结构；第一石墨烯层和第二石墨烯层，第一石墨烯层层叠在第一金属氧化物膜层的表面，第二石墨烯层层叠在第二金属氧化物膜层的表面。与现有技术相比，本发明通过电压调节铟镓锌氧化物膜层在太赫兹波段的电导率，利用第一石墨烯层和第二石墨烯层作为电极制备宽带柔性太赫兹调制器，实现对太赫兹波透过率的调制。使器件整体的插入损耗低，便于集成化设计，制造成本低，有利于实现大面积太赫兹调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 赫兹 调制器 及其 制备 调节 方法 | ||
【主权项】：
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