[发明专利]用于提升驱动增益的石英音叉敏感结构的制备方法有效
| 申请号： | 202011435359.3 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112607703B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 王永胜;王汝弢;车一卓;唐琼;苏翼;盛洁;李佳;刘韧 | 申请（专利权）人： | 北京自动化控制设备研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G01C19/5628 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于提升驱动增益的石英音叉敏感结构的制备方法，该制备方法包括：步骤一，根据音叉驱动梁结构设计上下表面具有凹槽结构的音叉敏感结构减薄光刻版图；步骤二，在石英晶片的正反两面均形成Cr/Au/Cr/Au掩膜；步骤三，形成音叉整体结构的Cr/Au/Cr/Au掩膜图形和挠性支撑的Cr/Au掩膜图形；步骤四，形成镂空的音叉结构及挠性支撑石英结构；步骤五，根据音叉敏感结构减薄光刻版图设计具有镂空区域的音叉敏感结构侧面电极加工用遮挡板；步骤六，制备音叉敏感结构的侧面电极和挠性支撑的表面电极引线。应用本发明的技术方案，能够解决现有技术中石英音叉的制备方法无法有效增加石英音叉敏感结构驱动端三维电极有效面积，导致无法有效提升驱动增益的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 提升 驱动 增益 石英 音叉 敏感 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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