[发明专利]声表面波滤波芯片封装制造方法及其结构在审

专利信息
申请号: 202011437441.X 申请日: 2020-12-07
公开(公告)号: CN112564659A 公开(公告)日: 2021-03-26
发明(设计)人: 王凯厚;杨剑宏;王鑫琴 申请(专利权)人: 苏州晶方半导体科技股份有限公司
主分类号: H03H3/08 分类号: H03H3/08;H03H9/64
代理公司: 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 代理人: 沈晓敏
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种声表面波滤波芯片封装制造方法及其结构,于声表面波滤波芯片内设置通孔,将线路层及导电凸块通过通孔背离芯片功能区设置,从而无需于封盖层上形成用于电性连接的孔槽等结构,降低了对封盖层的厚度及结构强度等性质的要求,使得能够选择高分子聚合物作为声表面波滤波芯片的封盖层,相较于金属、玻璃或晶圆盖板,高分子聚合物更薄,有利于封装结构小型化,且其成本更低,满足工业化需求。
搜索关键词: 表面波 滤波 芯片 封装 制造 方法 及其 结构
【主权项】:
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