[发明专利]基板支架在审

专利信息
申请号: 202011440169.0 申请日: 2020-12-11
公开(公告)号: CN112981508A 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 宫本松太郎 申请(专利权)人: 株式会社荏原制作所
主分类号: C25D17/08 分类号: C25D17/08;C25D7/12
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 舒艳君;王海奇
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供基板支架,在基板支架中提高基板接点以及/或者密封部件的定位。基板支架是用于保持基板的基板支架,具备第一保持部件、和在与上述第一保持部件之间保持基板的第二保持部件,上述第一保持部件具备:至少一个基板接点,配置为与上述基板接触;至少一个密封部件,具有覆盖一个或者多个上述基板接点的前端部的周围的第一密封部;以及汇流条,与一个或者多个上述基板接点电连接,且具有收纳上述第一密封部的一个或者多个第一通孔,一个或者多个上述基板接点的上述前端部以其周围被上述第一密封部覆盖的状态,从与上述第二保持部件相反侧朝向上述第二保持部件通过上述汇流条的上述第一通孔并固定于上述汇流条。
搜索关键词: 支架
【主权项】:
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