[发明专利]用于石英晶体振荡式薄膜厚度监视器的传感器头在审
| 申请号： | 202011442102.0 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN112556612A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 小熊洋介;前田章弘;海田友纪;小高学;岗村衡 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | G01B17/02 | 分类号： | G01B17/02 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于石英晶体振荡式薄膜厚度监视器的传感器头，其具有配置有驱动装置的传感器头主体，由驱动装置旋转驱动且在同一圆周上间隔设置有多个石英振子保持件，设置在传感器头主体上的掩膜体，并覆盖设置有各石英振子的保持件的上表面，且开设有朝向任意一个石英振子的成膜用窗口；传感器头具有固定在位于成膜用窗口正下方的传感器头主体部分上的第一电极；分别与各石英振子导通且向保持件下表面突出设置的第二电极；当保持件旋转到一个石英振子和成膜用窗口在上下方向上相匹配的相位时，第一电极和第二电极抵接并导通；还配置有绝缘体，其位于第一电极或第二电极任意一方的保持件的旋转方向两侧，且第一电极或第二电极中的任意另一方在其上滑动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 石英 晶体 振荡 薄膜 厚度 监视器 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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