[发明专利]多功能单晶薄膜、其制备方法和谐振器在审
| 申请号： | 202011443320.6 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN112599655A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 罗文博;吴传贵;帅垚 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L41/33 | 分类号： | H01L41/33;H01L41/312;H01L41/313;H01L41/335;H01L41/18 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多功能单晶薄膜、其制备方法和谐振器,包括如下制备步骤：选择至少两种不同材质的小尺寸压电单晶晶圆，在各小尺寸压电单晶晶圆的下表面注入高能量离子，在衬底的上表面划分出与各具有损伤层的小尺寸压电单晶晶圆匹配的键合区域，在各键合区域内制备键合层；将各具有损伤层的小尺寸压电单晶晶圆的下表面叠放于一一对应的键合区域内，进行键合处理和单晶劈裂处理，移除上压电层，在大尺寸衬底上拼接不同材质的小尺寸单晶薄膜；本发明提供的多功能单晶薄膜的制备方法，可以在同一衬底上集成不同材质的单晶薄膜，可以为多种膜器件提供多功能性单晶薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 薄膜 制备 方法 谐振器 | ||
【主权项】：
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