[发明专利]一种蒸发舟在审
| 申请号： | 202011444024.8 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112593191A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 廖良生;徐蒙蒙;史晓波;梁舰;陶培培;冯敏强 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发舟，通过设置出射板和反射板，反射板部分遮挡容纳仓的开口，形成蒸发材料通向待蒸镀基板的蒸镀通道，出射板遮挡该蒸镀通道，并与反射板之间形成反射通道，并且出射板的工作温度高于容纳仓的底板的工作温度，反射板的工作温度高于出射板的工作温度。蒸发材料经蒸发之后遇到出射板与反射板，经出射板与反射板多次反射，蒸发至出射板，自出射板蒸发至待蒸镀基板，从而，蒸镀气体经过出射板与反射板多次反射，有利于大的蒸发材料团分解为单个的原子，避免了蒸镀过程中熔融的蒸发材料发生溅射现象，避免了大的蒸发材料原子团直接蒸镀到待蒸镀基板上，造成器件短路，或对面板造成单个或多个像素点不亮的黑点现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 | ||
【主权项】：
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