[发明专利]一种基于电弧离子镀高通量制备氮化物复合涂层的方法有效
| 申请号： | 202011446825.8 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112746246B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 王成勇;陈汪林;邓阳;李炳新;赵倩;伍卫凯;陈锋光 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙) 44438 | 代理人： | 杨树民 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于电弧离子镀高通量制备氮化物复合涂层的方法。所述的高通量制备技术为基于高通量制备平台，取一组靶列从上至下分别安装至少三个异种靶材，于另一组靶列安装等量的同种AlCr靶。先开启第二靶列，沉积AlCrN打底层，后开启第一靶列沉积成分连续变化的涂层样品。所述的高通量制备平台是基于工业用的电弧离子镀装备，采用的靶材阵列由上下至少3个弧靶组成，且弧靶成直线排列，每个弧靶由单独的弧电源控制；每个靶可以是单质金属靶或多元合金靶。本发明的高通量制备技术，可以单次制备连续成分和结构的涂层，结合硬度、热稳定性及抗高温氧化性能，可以快速筛选出目标涂层，提高研发效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电弧 离子镀 通量 制备 氮化物 复合 涂层 方法 | ||
【主权项】：
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