[发明专利]一种滤波方法、滤波电路在审
| 申请号： | 202011447727.6 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112653419A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 张颖 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H03H11/02 | 分类号： | H03H11/02 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了滤波方法、滤波电路，用于对测量半导体设备的工艺腔室温度的热电偶输出的电压信号进行滤波，该方法包括：将热电偶输出的电压信号放大预设倍数，得到经过放大的电压信号；对经过放大的电压信号进行有源低通滤波，得到经过有源低通滤波的电压信号；对经过有源低通滤波的电压信号进行有源带阻滤波，得到经过有源带阻滤波的电压信号；将经过有源带阻滤波的电压信号缩小预设倍数，得到该电压信号对应的经过滤波的电压信号。本实施例得到的经过滤波的电压信号可以较为精确的表示工艺腔室的温度，当利用经过滤波的电压信号对工艺腔室的温度进行控制时，可以较为精确地对工艺腔室的温度进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤波 方法 电路 | ||
【主权项】：
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