[发明专利]一种具有面内止挡的MEMS可动结构有效
| 申请号： | 202011449368.8 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN112551474B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 张乐民;刘福民;杨静;徐杰;高乃坤;刘国文;张树伟;吴浩越 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 马全亮 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有面内止挡的MEMS可动结构，包括固定锚区、可动结构弹性梁、质量块框架、质量块、止挡弹性梁、止挡块、质量块梳齿、驱动梳齿以及驱动梳齿锚点。采用弹性梁支撑止挡块，当质量块位移过大与弹性梁碰撞时，弹性梁形变提供缓冲，避免结构损伤。止挡块与质量块连接在相同的固定锚区上，具有相同的电位，不会发生电学短路。在弹性梁不同位置设计不同尺寸的止挡块，质量块位移过大时首先与伸长量最大的止挡块接触，位移继续增大时，质量块才与其他止挡块接触，使大冲击下止挡块弹性梁刚度提高，降低冲击位移，满足不同大小冲击止挡需求，避免结构损伤。降低止挡结构与质量块间接触面积，避免结构在清洗过程中由于液体表面张力造成吸附粘连。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 面内止挡 mems 结构 | ||
【主权项】：
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