[发明专利]一种减少掺杂剂镓挥发的方法有效
申请号: | 202011450513.4 | 申请日: | 2020-12-09 |
公开(公告)号: | CN114606572B | 公开(公告)日: | 2023-07-21 |
发明(设计)人: | 苏伟;陈龙;孙立娟 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B31/04 | 分类号: | C30B31/04 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋 |
地址: | 215129 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种减少掺杂剂镓挥发的方法。所述减少掺杂剂镓挥发的方法包括以下步骤:(1)在料筒中装入部分硅料后,将石英管插入所述硅料中,再在所述石英管的外侧装入剩余硅料;(2)将镓从所述石英管的上方加入石英管中,使所述镓落入石英管的底部后,取出石英管,实现镓的掺杂。所述方法可以有效的将掺杂剂加入中下部,同时减少了人员操作难度,避免了镓挥发及沾到筒壁。 | ||
搜索关键词: | 一种 减少 掺杂 挥发 方法 | ||
【主权项】:
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