[发明专利]一种基于NTC3050型线切机单晶料座的回流对接装置在审
申请号: | 202011450569.X | 申请日: | 2020-12-11 |
公开(公告)号: | CN112454704A | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 李健乐;张淳;张丰;戴超;邢子淳;李伦;王彦君;孙晨光 | 申请(专利权)人: | 中环领先半导体材料有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04;B28D5/04 |
代理公司: | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人: | 段宇 |
地址: | 214200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于NTC3050型线切机单晶料座的回流对接装置,包括机架及单晶晶棒本体,所述机架顶部固接工作台,所述工作台顶面垂直位置固接夹持装置,所述工作台上放置料座,所述料座与夹持装置位置对应,所述工作台顶面两侧固接对中气缸,所述对中气缸动力端固接顶杆一端,所述顶杆另一端固接推板一侧,所述推板另一侧接触料座侧面;所述夹持装置包括底座,所述底座通过螺栓固接工作台顶面,所述底座顶面两侧分别固接两个滑杆,两个所述滑杆左侧滑动连接两个左滑块,两个所述左滑块固接左夹持臂,两个所述滑杆右侧滑动连接两个右滑块。本发明自动化程度高,对中精确快速,能够快速的进行料座的对接,满足料座在脱胶工序后的回流工作。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 ntc3050 型线切机单晶料座 回流 对接 装置 | ||
【主权项】:
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