[发明专利]蓝光隧道结纳米环光放大器外延结构及放大器的制备方法有效

专利信息
申请号: 202011450850.3 申请日: 2020-12-09
公开(公告)号: CN112490850B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 曾丽娜;李林;李再金;乔忠良;李功捷;赵志斌;陈浩;刘国军;曲轶;彭鸿雁 申请(专利权)人: 海南师范大学
主分类号: H01S5/125 分类号: H01S5/125;H01S5/34;H01S5/343;H01S5/50
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 符继超
地址: 570000 *** 国省代码: 海南;46
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摘要: 发明公开了一种蓝光隧道结纳米环光放大器外延结构及放大器的制备方法,包括:衬底层、缓冲层、底部GaN同质结分布布拉格反射镜层、下势垒层、有源层、隧道结层、电流注入层、上势垒层、顶部GaN同质结分布布拉格反射镜层和欧姆接触层;衬底层上依次生长缓冲层、底部GaN同质结分布布拉格反射镜层、下势垒层、有源层、隧道结层、电流注入层、上势垒层、顶部GaN同质结分布布拉格反射镜层和欧姆接触层。本发明能够改善现有纳米环光放大器的刻蚀缺陷,从而能够保证获得高质量的蓝光隧道结纳米环光放大器,方法易于控制,工艺稳定。
搜索关键词: 隧道 纳米 放大器 外延 结构 制备 方法
【主权项】:
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