[发明专利]多轴MEMS反射镜驻停有效
| 申请号： | 202011453027.8 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112526679B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 郑兴建;凯文·亚苏穆拉 | 申请（专利权）人： | 谷歌有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 周亚荣;邓聪惠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及多轴MEMS反射镜驻停。提供一种驻停微机电系统(MEMS)反射镜阵列中的MEMS反射镜的改进方法，该方法防止驱动器中的单个高压通道故障。两个单独的电压被施加到每个MEMS反射镜，以将反射镜移动并驻停在伺服系统中的相机传感器视野之外。例如，可以在正X方向上施加第一电压，且可以在正Y方向上施加第二电压。这将使反射镜在对角线方向上移动。在高压通道中的一个发生故障的情况下，反射镜仍将被驻停并处于相机传感器的视野之外。使用两个电压，每个反射镜都将具有4个可能的驻停位置。在高压通道发生故障的情况下，伺服系统能够将受故障影响的反射镜驻停在相对的拐角中。如果2轴驻停不可行，诸如两个Y轴都故障，则反射镜能够使用单电压驻停。 | ||
| 搜索关键词： | 多轴 mems 反射 镜驻停 | ||
【主权项】：
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