[发明专利]外延设备

摘要

本申请实施例提供了一种外延设备。外延设备包括基座环、上顶盖和下顶盖；基座环包括相背的第一面和第二面，上顶盖和下顶盖分别与第一面和第二面密封连接，上顶盖与下顶盖形成封闭空间，封闭空间中设置有基座，基座用于放置基片；基座环上设置有进气口和出气口，且封闭空间中设置有隔挡件，隔挡件为环状结构，用于遮挡基座环，隔挡件与上顶盖之间存在间隙，隔挡件上设置有进气道和出气道，进气道与进气口连通，出气道和出气口连通；上顶盖包括顶盖和上凸缘，顶盖与上凸缘连接，上凸缘与第一面密封连接，且上凸缘上设置有清洁气体容纳壳，清洁气体容纳壳与清洁气体储气件连接，上凸缘上开设有气体通道，清洁气体容纳壳与间隙通过气体通道连通。