[发明专利]一种金属基柔性框架石英差动谐振式压力传感器有效
| 申请号： | 202011453884.8 | 申请日： | 2020-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN112611484B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 李村;赵玉龙;葛晓慧;张全伟;李波;韩超 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10;G01L11/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种金属基柔性框架石英差动谐振式压力传感器，包括一体式金属压力差动转换元件，一体式金属压力差动转换元件上连接有两个石英双端固支音叉，一体式金属压力差动转换元件上侧及两个石英双端固支音叉外侧连接有上盖帽，形成真空密封；一体式金属压力差动转换元件下侧连接有下盖板，下盖板密封PCB安装腔室，完成普通气密；两个石英双端固执音叉垂直交叉平行地安装于柔性框架的左右两侧，柔性框架一端与待测压力通道一体固接，另一端与固定外框架一体固接；本发明通过测量个石英双端固执音叉的频率变化，可获得待测压力信息，不仅可以提高敏感度，还可以抑制温漂等共轭干扰，具有数字信号输出，精度高，抗干扰能力强等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 柔性 框架 石英 差动 谐振 压力传感器 | ||
【主权项】：
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