[发明专利]柔性压力敏感层、压力传感器、可穿戴电子设备及制备方法在审
申请号: | 202011454047.7 | 申请日: | 2020-12-10 |
公开(公告)号: | CN112556896A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 曹莹泽;王鹏飞;卢亚妹;黄培;程祥;于猛 | 申请(专利权)人: | 中国空间技术研究院 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;A61B5/024;A61B5/11 |
代理公司: | 北京智乾知识产权代理事务所(普通合伙) 11552 | 代理人: | 华冰 |
地址: | 100094 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请公开一种柔性压力敏感层、压力传感器、可穿戴电子设备及制备方法,所述柔性压力敏感层具有规则的毫米级尺寸的凸起结构,这些凸起结构为压力传感器提供规则的气隙结构,使得压力传感器具有较高的灵敏度。在本申请利用表面设有格栅的模板制备柔性压力敏感层,现有制造手段足以满足毫米级尺寸的格栅的形状和尺寸精度,因此制备柔性压力敏感层的过程严格可控,用此方法制备出的柔性压力敏感层的表面结构可重复性高,从而保证了压力敏感层的性能稳定。进而解决了现有技术中电容式柔性传感器性能不稳定及制造工艺复杂的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 柔性 压力 敏感 压力传感器 穿戴 电子设备 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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