[发明专利]用于蚀刻制造超薄玻璃的方法

摘要

本发明公开用于蚀刻制造超薄玻璃的方法：采用蚀刻液A和蚀刻液B分别进行蚀刻，用Ca2+、Mg2+表面修饰后，再用疏水修复液进行表面处理；所述蚀刻液A以水为溶剂，包括以下摩尔浓度组分：氢氟酸1.5～3mol/L、盐酸0.5～1.5mol/L、氟硅酸钠1.0～1.5mol/L、十二烷基硫酸钠0.1～0.2mol/L；所述蚀刻液B以水为溶剂，包括以下摩尔浓度组分：氢氟酸0.5～1.5mol/L、盐酸0.3～0.8mol/L、氟硅酸钠0.5～0.8mol/L、十二烷基硫酸钠0.1～0.2mol/L；所述疏水修复液包括以下质量份组分：水性氟碳乳液40～50份、疏水剂1～3份、硅酸钠5～7份、氟化钠2～3份、纳米氧化钛溶胶10～15份、纳米氧化硅溶胶15～20份、结构导向剂3～5份、氨基硅烷偶联剂1～2份、乳化剂0.5～2份。本发明实现对蚀刻后玻璃基板表面缺陷位置进行修补，提高结构稳定性和机械强度；又赋予玻璃柔韧性，阻止超薄玻璃碎裂。