[发明专利]研磨垫监测装置及监测方法在审
| 申请号： | 202011454724.5 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112605883A | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 沙酉鹤;谢越 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B49/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种研磨垫监测装置，用于监测所述研磨垫是否划伤晶圆，研磨垫监测装置包括色差测量单元和判断单元。色差测量单元用于实时测量研磨垫表面的色差值，判断单元用于判断研磨垫是否划伤所述晶圆。当研磨垫表面的色差值大于或等于阈值时，则判定研磨垫会划伤所述晶圆。显示单元以图表的形式实时显示色差值和阈值。当所述研磨垫表面的色差值小于所述阈值时，则判定所述研磨垫不会划伤所述晶圆。在本发明提供的研磨垫监测装置中，通过色差测量单元实时测量所述研磨垫表面的色差，色差测量单元向所述判断单元实时反馈测量结果信号，进而通过所述判断单元判断所述研磨垫是否会划伤晶圆。相应的，本发明还提供一种研磨垫的监测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 监测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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