[发明专利]用于经时击穿测试的探针卡及经时击穿测试方法在审
| 申请号： | 202011455731.7 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112731073A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 赵东艳;王于波;周芝梅;邵瑾;陈燕宁;付振;袁远东;杨红;陈睿;王文武;都安彦;李恋恋 | 申请（专利权）人： | 北京智芯微电子科技有限公司;北京芯可鉴科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司;中国科学院微电子研究所;中国科学院大学 |
| 主分类号： | G01R31/12 | 分类号： | G01R31/12 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 肖冰滨;王晓晓 |
| 地址： | 100192 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片测试领域，提供一种用于经时击穿测试的探针卡以及经时击穿测试方法。所述用于经时击穿测试的探针卡包括：印制电路板以及设置于所述印制电路板的探针，所述印制电路板设有用于输入经时击穿测试信号的输入端，还包括限流元件，所述探针的第一端通过所述限流元件连接所述印制电路板的输入端，所述探针的第二端用于输出所述经时击穿测试信号。本发明通过限流元件吸收器件栅氧化层被击穿时的瞬间大电流，防止器件内部的其它结构被损坏(击穿)，这种情况下器件处于早期损坏，容易确定早期损坏故障点的位置，有助于确定可靠性失效的根本原因。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 击穿 测试 探针 方法 | ||
【主权项】：
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