[发明专利]大尺寸晶圆吸附定位装置在审
| 申请号： | 202011457020.3 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112390016A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 乔金彪 | 申请（专利权）人： | 苏州斯尔特微电子有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/91;B65G43/08 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 张一鸣 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了大尺寸晶圆吸附定位装置，包括：机体、电控箱、第一螺纹柱；所述机体的侧部设置有电控箱，且机体与电控箱为一体式结构；所述支柱设置在电控箱的上部，且支柱与电控箱为一体式结构；所述第一螺纹柱设置在机体的中部，且第一螺纹柱与机体为一体式结构；所述激光器设置在机体的中部，且激光器与第一螺纹柱通过螺母固定相连接；所述第二螺纹柱设置在支柱的下部，且第二螺纹柱与支柱为一体式结构；所述感光器设置在支柱的下部，且感光器与第二螺纹柱通过螺母固定相连接；所述通过对现有装置的改进，该装置具有晶圆定位精度高、不易出现检测误差、调试维护方便的优点，从而有效的解决了本发明在背景技术一项中提出的问题和不足。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 吸附 定位 装置 | ||
【主权项】：
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