[发明专利]一种大角度中长波红外增透保护膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种大角度中长波红外增透保护膜，其包括依次设置在ZnS基底上的第一ZnS层、第一YbF3层、第二ZnS层、第二YbF3层、第三ZnS层、第三YbF3层和Al2O3外层；其中，各层的厚度为：第一ZnS层：80‑120nm，第一YbF3层：140‑160nm，第二ZnS层：230‑250nm，第二YbF3层：370‑390nm，第三ZnS层：150‑160nm，第三YbF3层：920‑930nm，Al2O3外层：30‑90nm；所述大角度中长波红外增透保护膜在入射角为45‑47.2°、50‑60°、65‑70°时，对波长为3‑5μm的光的平均透过率分别为85‑92％、80‑90％、62‑68％。当光以大角度入射时，其具有高的透过率且膜层间匹配性好、结构更稳定。