[发明专利]一种制备高纯多晶硅的设备余热利用系统在审
申请号: | 202011457771.5 | 申请日: | 2020-12-10 |
公开(公告)号: | CN112575371A | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 张发云;饶森林;何亮;邹贵付;熊含梦;陈小会;王发辉;黄雪雯 | 申请(专利权)人: | 新余学院 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 | 代理人: | 殷康明 |
地址: | 338000 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明的一种制备高纯多晶硅的设备余热利用系统,包括炉体、均位于炉体内的坩埚、加热器、隔热层、及多余热量回收加热组件;炉体内具有加热区域,坩埚及加热器均位于加热区域;加热器与坩埚以及隔热层均为间隔设置,加热器在水平方向上位于坩埚与隔热层之间;隔热层与炉体的炉壁贴合固定;隔热层与加热区域之间具有设定的多余热量回收区域;多余热量回收加热组件包括加热桶、第一外接管道、以及通过第一外接管道外接的储水桶;加热桶固定位于在多余热量回收区域,且加热桶与隔热层贴合;还包括位于炉体外的线圈。本发明实现对多晶硅加热产生的多余热量进行回收的目的,避免造成资源浪费的问题,进一步实现能源的有效利用和达到环保的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 高纯 多晶 设备 余热 利用 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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