[发明专利]一种基于机器学习的CDSEM图像虚拟测量方法有效
| 申请号： | 202011459003.3 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112561873B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 李立人;时雪龙;燕燕;许博闻;周涛 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/13;G06T7/60;G06N3/08 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于机器学习的CDSEM图像虚拟测量方法，其包括训练集和验证集的生成步骤、将光刻空间像图和CDSEM图像对齐步骤、采用神经网络模型，将所述光刻空间像图作为输入，与之对应的所述CDSEM图像作为目标输出，遍历所述训练集中的N1组所述光刻空间像图‑CDSEM图像数据对完成所述神经网络模型的训练；遍历验证集中的N2组所述光刻空间像图‑CDSEM图像数据对完成所述神经网络模型的验证。本发明通过建立OPC后光罩图案和光刻工艺后的CDSEM图像的映射，实现采用机器学习生成CDSEM图像，得到一个独立于OPC模型的验证模型，用于确认光刻后的图形的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 机器 学习 cdsem 图像 虚拟 测量方法 | ||
【主权项】：
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